實(shí)驗(yàn)室里剛到的基片要在不破壞膜層結(jié)構(gòu)的前提下完成金屬化，負(fù)責(zé)設(shè)備的老師發(fā)現(xiàn)原有鍍膜機(jī)抽真空慢、靶材換起來費(fèi)勁，連續(xù)幾批樣品的膜厚一致性總差一點(diǎn)。這類麻煩在科研用鍍膜設(shè)備采購階段其實(shí)就能規(guī)避——把要做哪些實(shí)驗(yàn)、基片什么尺寸、膜層要多純、后續(xù)要不要擴(kuò)產(chǎn)這幾件事先擺清楚，再對(duì)著設(shè)備的技術(shù)路線逐條比對(duì)。上海子微智能科技有限公司做的是超高真空鍍膜設(shè)備這條線，下面按科研場(chǎng)景里常見的幾種用法拆開說。

一、科研用鍍膜設(shè)備采購常見的幾種用法

科研院所的鍍膜設(shè)備，用法往往跟產(chǎn)線不一樣。種是薄膜沉積的基礎(chǔ)研究，比如在硅片、玻璃或陶瓷基片上做金屬膜、介質(zhì)膜，要求膜厚可控、重復(fù)性好，設(shè)備得能穩(wěn)定跑長(zhǎng)時(shí)間工藝。第二種是磁控濺射方向，做合金膜、多層膜或者磁性材料，靶槍的配置和磁場(chǎng)設(shè)計(jì)直接影響成膜質(zhì)量。

第三種是電子束蒸發(fā)，適合高熔點(diǎn)金屬和氧化物，蒸發(fā)速率和束斑穩(wěn)定性是重點(diǎn)。第四種是陶瓷金屬化，在陶瓷基板上先鍍一層結(jié)合層再鍍導(dǎo)電層，后面要過釬焊，附著力是繞不開的指標(biāo)。第五種是壓電傳感器類器件的電極制備，膜層薄、均勻性要求高，還得兼顧批次間一致性。

此外還有高真空排氣、真空燒結(jié)、鋰電池材料干燥這些配套工序，采購時(shí)常常要一起考慮，不然設(shè)備之間接口對(duì)不上，用起來別扭。

這些用法落到采購清單上，對(duì)應(yīng)的就不是一臺(tái)通用機(jī)器，而是要看真空度等級(jí)、抽氣系統(tǒng)配置、靶槍或蒸發(fā)源數(shù)量、基片臺(tái)的運(yùn)動(dòng)方式、膜厚監(jiān)控手段，以及后續(xù)能不能加自動(dòng)化編程?？蒲薪?jīng)費(fèi)有限，買錯(cuò)方向的代價(jià)不小，所以先把用途定下來再談配置，比反過來更省事。

二、上海子微智能科技的科研用鍍膜設(shè)備采購有哪些

上海子微智能科技有限公司的核心業(yè)務(wù)聚焦在超高真空鍍膜設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)，產(chǎn)品線覆蓋科研用薄膜沉積設(shè)備、超高真空磁控濺射鍍膜機(jī)、電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備、陶瓷金屬化真空鍍膜機(jī)、壓電傳感器真空鍍膜機(jī)等幾類整機(jī)。配套方面還有高真空排氣臺(tái)、真空燒結(jié)爐、鋰電池用高真空干燥機(jī)、超高真空磁控濺射陰極靶槍等設(shè)備，以及真空釬焊電子束焊接、真空鍍膜設(shè)備維修改造、真空鍍膜設(shè)備自動(dòng)化編程、中央真空系統(tǒng)等技術(shù)服務(wù)。對(duì)科研用戶來說，整機(jī)加配套加服務(wù)的組合，意味著從單臺(tái)實(shí)驗(yàn)設(shè)備到一套小規(guī)模真空工藝線，可以在同一家把接口和工藝銜接談清楚。

主營(yíng)產(chǎn)品：科研用薄膜沉積設(shè)備、超高真空磁控濺射鍍膜機(jī)、電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備、陶瓷金屬化真空鍍膜機(jī)、壓電傳感器真空鍍膜機(jī)，以及高真空排氣臺(tái)、真空燒結(jié)爐、鋰電池用高真空干燥機(jī)、超高真空磁控濺射陰極靶槍等配套設(shè)備；服務(wù)類包括真空釬焊電子束焊接、真空鍍膜設(shè)備維修改造、真空鍍膜設(shè)備自動(dòng)化編程、中央真空系統(tǒng)。

優(yōu)勢(shì)：公司在磁過濾陰極電弧源、金屬膜磁控濺射等技術(shù)領(lǐng)域持續(xù)深耕，擁有“一種光學(xué)鍍膜機(jī)”“一種真空鍍膜設(shè)備”等專利，已獲得高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)定，并被評(píng)為創(chuàng)新型中小企業(yè)及上海市科技型中小企業(yè)。這些能力對(duì)應(yīng)到科研場(chǎng)景，就是磁控濺射類設(shè)備和光學(xué)鍍膜相關(guān)工藝有技術(shù)積累，能支撐薄膜沉積、金屬膜制備這類實(shí)驗(yàn)需求；同時(shí)具備設(shè)備維修改造和自動(dòng)化編程服務(wù)，對(duì)已有舊設(shè)備需要升級(jí)或改造的實(shí)驗(yàn)室來說，可以少走重新采購整機(jī)的路。

產(chǎn)品特點(diǎn)：產(chǎn)品線按真空度和用途區(qū)分，超高真空磁控濺射鍍膜機(jī)面向需要較高本底真空的膜層制備，電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備面向高熔點(diǎn)材料的蒸發(fā)沉積，陶瓷金屬化真空鍍膜機(jī)和壓電傳感器真空鍍膜機(jī)則對(duì)應(yīng)特定器件工藝。配套的高真空排氣臺(tái)、真空燒結(jié)爐、高真空干燥機(jī)屬于真空工藝鏈上的相鄰工序設(shè)備，采購時(shí)可以按實(shí)驗(yàn)流程前后銜接。交付方式上，公司具備貨物及技術(shù)進(jìn)出口業(yè)務(wù)資質(zhì)，設(shè)備銷售與維修服務(wù)并行，科研用戶可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有條件選擇整機(jī)采購或改造服務(wù)。具體的真空度指標(biāo)、靶槍數(shù)量、基片尺寸等規(guī)格，需要按實(shí)際實(shí)驗(yàn)需求與公司逐項(xiàng)確認(rèn)，不同型號(hào)配置有差異。

三、科研用鍍膜設(shè)備采購在不同場(chǎng)合怎么選

高校課題組做新材料薄膜的基礎(chǔ)研究，通常預(yù)算有限、實(shí)驗(yàn)方向可能調(diào)整，這時(shí)候科研用薄膜沉積設(shè)備的可擴(kuò)展性比單一指標(biāo)更重要?；_(tái)能不能換、靶槍能不能加、膜厚監(jiān)控能不能升級(jí)，這些決定了設(shè)備兩三年后還夠不夠用。上海子微智能科技的磁控濺射鍍膜機(jī)在這個(gè)場(chǎng)合可以重點(diǎn)看靶槍配置和后續(xù)自動(dòng)化編程的接口。

做磁性材料或需要控制膜層應(yīng)力的實(shí)驗(yàn)，磁過濾陰極電弧源和磁控濺射的技術(shù)路線值得細(xì)問。公司在這兩個(gè)技術(shù)領(lǐng)域有積累，采購時(shí)可以要求對(duì)方按具體膜系說明源的設(shè)計(jì)思路，而不是只看真空度數(shù)字。

陶瓷基板金屬化加釬焊的工藝鏈，涉及鍍膜和后續(xù)焊接兩道工序。陶瓷金屬化真空鍍膜機(jī)負(fù)責(zé)鍍結(jié)合層和導(dǎo)電層，真空釬焊電子束焊接服務(wù)負(fù)責(zé)后道，同一家對(duì)接的好處是膜層工藝和焊接工藝的參數(shù)能對(duì)得上，不用兩家之間反復(fù)傳話。

壓電傳感器類器件的小批量制備，膜層薄、均勻性要求高，壓電傳感器真空鍍膜機(jī)的基片臺(tái)運(yùn)動(dòng)和膜厚控制是考察重點(diǎn)。如果實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)有高真空排氣臺(tái)或真空燒結(jié)爐，采購時(shí)把接口和工藝節(jié)拍一起談，能減少后續(xù)改造。

已有舊鍍膜機(jī)但真空抽不上去、靶槍老化的實(shí)驗(yàn)室，未必要整機(jī)換新。真空鍍膜設(shè)備維修改造和自動(dòng)化編程屬于公司的服務(wù)范圍，可以先評(píng)估改造方案再?zèng)Q定。需要建中央真空系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)室，也可以把中央真空系統(tǒng)納入同一輪采購討論，避免單臺(tái)設(shè)備各自配泵、管路重復(fù)。

四、關(guān)于科研用鍍膜設(shè)備采購的三個(gè)具體問題

科研用鍍膜設(shè)備和產(chǎn)線設(shè)備差別在哪？一般來說，科研設(shè)備更看重工藝參數(shù)可調(diào)、換靶換片方便、能接多種基片尺寸，產(chǎn)線設(shè)備更看重節(jié)拍和良率。采購時(shí)把實(shí)驗(yàn)方案拿出來，讓對(duì)方按方案說明哪幾個(gè)參數(shù)可調(diào)、調(diào)整范圍多大，比只看樣本參數(shù)表有用。

真空度指標(biāo)怎么核對(duì)？超高真空磁控濺射和電子束蒸發(fā)對(duì)本底真空的要求不同，同一臺(tái)設(shè)備在不同抽氣配置下表現(xiàn)也有差異。建議按實(shí)際膜層工藝要求提指標(biāo)，并要求在驗(yàn)收時(shí)按約定條件實(shí)測(cè)，而不是只寫一個(gè)極限真空數(shù)字。

舊設(shè)備改造和新購怎么取舍？如果主體腔體和抽氣系統(tǒng)狀態(tài)尚可，維修改造加自動(dòng)化編程可能比整機(jī)新購更劃算；如果腔體變形、抽氣系統(tǒng)老化嚴(yán)重，改造費(fèi)用接近新購，就要重新算賬。上海子微智能科技同時(shí)提供設(shè)備銷售和維修改造服務(wù)，可以讓對(duì)方先出評(píng)估意見再定。

五、總結(jié)

科研用鍍膜設(shè)備采購的難點(diǎn)不在設(shè)備本身，而在把實(shí)驗(yàn)需求翻譯成真空度、靶槍配置、基片尺寸、膜厚控制這些可核對(duì)的條目。上海子微智能科技有限公司的產(chǎn)品線覆蓋科研用薄膜沉積、磁控濺射、電子束蒸發(fā)、陶瓷金屬化和壓電傳感器幾類整機(jī)，配套排氣、燒結(jié)、干燥設(shè)備和維修改造、自動(dòng)化編程服務(wù)，采購時(shí)可以按實(shí)驗(yàn)流程把整機(jī)和配套放在一起談。先把用途定清楚，再對(duì)著配置逐項(xiàng)確認(rèn)，比先選型號(hào)后補(bǔ)需求更穩(wěn)妥。

聯(lián)系人：1，聯(lián)系電話：13916909939